“咱们和国外脱节太久了,我也需要观察一段时间才能确定国外的水平!这还是我近年来第一次看到国外的硅单晶炉!”林兰英说道,接着她又指着研究人员围着的一台单晶炉问道:“那是在做什么?”她走到这台单晶炉的旁边看到计算机显示器上的界面问道:“这种单晶炉实现了自动化控制?”
研究人员让到了一边,三位科学家走到了近前。张绶庆向他们介绍道:“这是一台直拉型单晶生长设备,它能用于75(3英寸)硅单晶的生长。目前我们测试出这种单晶炉能很好的生长出3英寸五位错硅单晶。这台设备还加装d扫描直径控制系统和完善的热管理系统,可实现硅单晶生长的全程自动化控制。它的自动化率高,各部件运转精度好,我们现在运用它生长硅单晶,随着操作人员的熟练良品率越来越高了。先前由于刚接触不熟悉,良品率很低,目前经过摸索,测试输入准确数据,现在硅单晶的良品率上升到了60!”
“等等!你们的硅单晶运用了氩气生长方式?”林兰英疑惑的问道。
“是的,我们这种提拉式单晶炉用了进口的高纯氩气,而且还采用了高真空系统。这是自动化的硅单晶炉,如果采用了一整套的准确数据,生长良品率能提高到95以上!”林强生走上前来对林兰英研究员说道。
这位专家62岁,有我国半导体材料之母的称号,林强生在她老人家面前也显得谨慎了许多。
“小伙子,你的这种单晶炉对我国的意义很大,请问这种单晶炉是在国外引进的吗?”林兰英向林强生问道。
林强生说道:“技术引进工作我也正在做,相信不久之后就会有国外公司卖给我相关技术!”
“小林同志,你看我们可不可以现场观察一次单晶硅的制备过程?”王守武向林强生问道。
林强生点点头向几位专家笑道:“当然了,求之不得!几位我这就送来一批材料,请你们稍等!”
看着林强生快步走出了车间,林兰英奇怪的向张绶庆问道:“一会就能开炉吗?”
“哈哈,当然了,小林同志这里的效率是很高的,我们稍等一会,一会材料过来就能开炉。林研究员,呆会我让您看一看这里的石英坩埚,您绝对会惊讶的!”(。。)